真空系統要求獲得并保持真空狀態，一旦存在嚴重的泄漏則是系統的重大缺陷，就需要進行相關的真空檢漏。由于泄漏是因為材料本身的缺陷或封口部不良導致的現象，所以進行相關的真空檢漏非常有必要性。為了更快的檢測出具體泄漏點，使用來自【超鉅微檢】的氟利昂真空腔體檢漏儀就可以很好的解決漏氣現象。檢漏靈敏度高，穩定性強，檢漏響應快速1s就能找到具體泄漏點。
由于真空系統需要保持真空狀態，真空腔體檢漏已經成為真空系統制作和使用中不可缺少的環節。真空腔體存在很多的焊接面和法蘭面，如果焊接不良或者法蘭面夾雜異物等原因，就會造成真空腔體的泄漏。為查明泄漏點和具體泄漏率，使用【超鉅微檢】的氟利昂真空腔體檢漏儀對腔體進行無損檢漏，精密檢漏檢測下限0.1g/y，完全滿足客戶檢漏需求。
【超鉅微檢】的氟利昂真空腔體檢漏儀采用分子級傳感技術，3.0輕松檢漏，重新定義高精度低成本秒定位（HLS）檢漏標準。可彎曲的長柄探頭能檢測任意位置漏源，觸摸式的彩屏能同步顯示精準測漏值，雙重聲光提醒功能，檢漏時更方便、更快捷！
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ATH-3000 PLUS 氮氫檢漏儀
- 用混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，是當今業內先進的精密檢漏方法之一，無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用，都具有無與類比的優勢。
ATH-3000P 氮氫檢漏儀
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- ATG-6138M高精度測汞儀應用特有的復合薄膜傳感技術研制而成，具有極高的靈敏度，檢出限達5×10-13克汞，能精確檢測空氣中痕量汞蒸氣的含量。
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