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關鍵詞：真空泵檢漏，真空泵檢漏設備，氫氣檢漏儀

   真空泵是我國真空工藝過程中不可缺少的泵種類之一，隨著經濟快速可持續發展，真空泵的應用范圍越來越廣泛。真空泵在出廠之前，生產廠家都會對其進行檢漏工作，如何進行高效真空泵檢漏是目前存在的問題之一。

   真空泵是一種利用化學或者物理的方法對容器進行抽氣從而達到真空狀態的設備。換而言之，真空泵是利用某種方法使密閉空間達到真空的狀態。

   真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，使室內的氣體壓力降低，達到真空的狀態。由于真空的范圍很廣泛，至今還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求，真空系統的配置也各不相同。

   若真空泵發生泄漏，無論是哪種配置的儀器都無法正常使用。為了確保真空泵擁有良好的氣密性，生產廠家需要一種高效的真空泵檢漏方法。常用的方法是將真空抽至10^-3Pa級，然后在可疑的位置噴灑少量的酒精，通過真空計數值的變化判斷有無泄漏，此種方法檢漏精度低，而且無法精準檢漏。而超鉅研發的ATH-3000P氫氣檢漏儀檢漏精度高，檢測限低至5*10-7 MBAR L/S，可以精準定位，不放過任何微小漏孔。由于氫氣檢漏儀的優勢眾多，已深受眾多真空泵生產廠家的喜愛。

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