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關鍵詞：真空爐檢漏儀，真空檢漏技術，真空系統檢漏

  目前國內許多生產電工材料的單位都擁有真空爐，這些各式各樣的真空爐都是各單位的關鍵設備，承擔著生產優質電工材料的重任，因此，做好真空爐檢漏工作對保證產品質量和設備正常運行有著重大的意義。

  真空爐與非真空爐的區別在于真空爐多了一套真空系統，真空系統是由真空泵、真空室、管道、閥門、真空計等部件所組成，真空泵通過管道、閥門等和真空室連接起來，其作用是把系統內部的氣體排出到系統之外，從而形成真空。

  真空系統要達到十分嚴密，一點也不漏氣，幾乎是不可能的，只要漏氣速率降低到允許范圍之內即可，這樣可以保證工作所需的真空度。判斷真空系統是否漏氣，常見的檢漏方法是氣泡法和氦質譜檢漏法。

  氣泡檢漏法是在被檢工件內充入一定壓力的示漏氣體，然后放入水中，如有漏孔存在，氣體會通過漏孔進入周圍的水中形成氣泡，從而確定漏孔位置，氣泡形成的速率、大小和水的性質相結合估算漏率。但是這種方法耗時長，需要經驗豐富者才可操作，而且檢漏完成后需烘干，工序繁瑣，對于細微漏孔無法判斷。

  氦質譜檢漏法。可快速、精準判斷出被檢工件的漏孔大小以及泄漏值。但是氦氣不易制取，價格高，后期需更換分子泵等昂貴零部件。

  為更好的進行真空爐檢漏，超鉅微檢真空爐檢漏儀誕生了，檢漏精度等同氦質譜檢漏儀，使用的示蹤氣體價格是氦氣的1/15~1/20，設計獨特的快速吸槍式或感應式探頭二種可供選擇，確保不放過任何極微小泄漏點。“超鉅微檢”真空爐檢漏儀相對于水檢、氦質譜檢漏而言，具有自己特有的優勢，贏得廣大客戶的喜愛。

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