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關鍵詞：真空檢漏，真空檢漏設備，真空檢漏廠

  隨著科技的不斷發展，人們對產品的質量要求也在不斷提高，真空設備的應用越來越廣泛。航空航天、保鮮等行業都在大量使用真空相關設備。無論對于設備的生產企業還是使用企業，設備的可靠性和安全性都是非常重要的，在出廠之前查找出設備的泄漏點以及泄漏的具體位置，可以提高產品的質量。近年來，隨著技術的不斷更新和進步， 檢測方法和技術設備也越來越多，滿足的領域和行業也更加廣泛。

  根據真空設備殼體結構不同，真空設備分雙層夾套結構（水冷式）和單層（非水冷式）兩種，在這種情況下，缺陷可能會帶來漏水或漏氣的情況。無論是漏水還是漏氣都會對生產試驗及設備本身帶來極大的損害，特別是對于真空高溫熱處理爐來講，出現漏水情況有可能會發生人員安全事故。

  一般情況下真空設備在出廠之前，都要進行一定的密封性檢測，對已經形成的漏點可以及時發現，采用補焊的辦法進行解決。

  常見的方法有：正壓法。就是對被檢測設備進行密封充氣，使內部壓力高于外部的大氣壓力，可采用壓降法、水浸檢測這兩種方式。由于壓降法和水浸法耗時長，檢漏精度低，而且水浸法會對被檢測設備產生損害。因此，杭州超鉅科技研發了真空檢漏設備——氮氫檢漏儀。此款真空檢漏設備可以在0.5~1s內檢測出微小漏孔，并且最低檢測限度可達5*10-7mbar.L/s，成功為真空檢漏設備生產廠家提高了工作效率和產品的質量。